型号: 有效区尺寸(mm) 装炉量(kg) 发热材料 加热功率(kw)
最高温度(℃)
温度均匀性(±℃)
极限真空度(Pa)
压升率(Pa/h)
气冷压强(bar)
YGQ-30
300×250×200
20
石墨
30
1300
5
6×10-3
0.67
3
YGQ-40
450×300×300
100
石墨
40
1320
5
6×10-3
0.67
6
YGQ-80
450×300×300
200
石墨
80
1320
5
6×10-3
0.67
6
YGQ-120
600×400×400
200
钼
120
1350
5
6×10-3
0.67
6
YGQ-120
600×400×400
300
石墨
120
1300
5
4×10-1
0.67
6
YGQ-150
750×500×500
500
石墨
150
1300
5
6×10-3
0.67
6
YGQ-150
900×600×600
500
石墨
150
1300
5
4×10-1
0.67
10
YGQ-240
1200×800×800
1000
石墨
240
1320
5
6×10-3
0.67
10
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